刘宇

作品数:2被引量:7H指数:1
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供职机构:南京大学电子科学与工程学院更多>>
发文主题:纳米硅氢化非晶硅电输运退火温度退火更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《物理学报》《南京邮电大学学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金江苏省高校自然科学研究项目更多>>
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衬底掺杂浓度对p-i-n结构电致发光的增强作用被引量:1
《南京邮电大学学报(自然科学版)》2011年第5期97-100,共4页陈德媛 冒昌银 刘宇 孙红程 
国家自然科学基金(10874070;60721063;50872051);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2007CB613401);江苏省高校自然科学基金(09KJB510008;09KJB510010;09KJB510014);南京邮电大学引进人才启动基金(NY208056)资助项目
采用等离子体增强化学气相淀积系统,应用原位氧化和原位掺杂技术制备出了以非晶硅/二氧化硅多层膜结构为本征i层、分别以磷和硼掺杂的非晶硅作为n型和p型区的p-i-n结构。经过三步后退火处理,i层晶化得到纳米硅/二氧化硅多层膜结构,磷和...
关键词:电致发光 开启电压 注入势垒 串联电阻 
不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质被引量:6
《物理学报》2009年第11期7878-7883,共6页宋超 陈谷然 徐骏 王涛 孙红程 刘宇 李伟 陈坤基 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613401);国家自然科学基金(批准号:10874070);高等学校博士学科点专项基金(批准号:20070284020)资助的课题~~
采用等离子体化学气相沉积技术制备氢化非晶硅薄膜,经过不同温度下的热退火处理,使薄膜由非晶结构向晶化结构转变,得到含有纳米晶粒的晶化硅薄膜.在晶化过程中,采用Raman技术对样品的结构进行表征.通过变温电导率的测试,对薄膜的电学输...
关键词:氢化非晶硅 退火 纳米硅 电输运 
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