王立环

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溅射设备真空系统故障与诊断
《真空》1993年第3期35-38,10,共5页谢其中 谢长生 王立环 
本文介绍了应用真空溅射方法形成膜层，设备真空系统常见故障诊断及排除。
关键词：溅射 真空系统 故障 诊断 镀膜 
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