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发文主题：常用外部设备光导体溅射设备溅射计算机系统更多>>
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溅射设备真空系统故障与诊断
《真空》1993年第3期35-38,10,共5页谢其中 谢长生 王立环 
本文介绍了应用真空溅射方法形成膜层，设备真空系统常见故障诊断及排除。
关键词：溅射 真空系统 故障 诊断 镀膜 
用于电子照相的多色光导体
《真空科学与技术学报》1989年第2期107-110,共4页谢其中 
本文叙述了适用于长波区电子照相的Se、As、Te多色光导体的工艺及性能。
关键词：多色光 真空镀膜机 载流子密度 印刷效果 感光膜 表面电位 红外光波 透明导电膜 光导鼓 蒸镀 
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