闫峰

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
发文主题：衬底锗XPS亚波长结构亚波长更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《微细加工技术》《机械科学与技术》更多>>
所获基金：中国航空科学基金更多>>
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锗衬底上反应离子刻蚀制备宽波段红外增透结构的工艺及性能研究被引量：2
《机械科学与技术》2009年第10期1375-1378,共4页沈祥伟 刘正堂 卢红成 李阳平 闫峰 
航空科学基金项目(2008ZE53043)资助
研究了利用反应离子刻蚀技术在Ge衬底上制备宽波段抗反射亚波长结构时工艺参数对刻蚀速率及刻蚀选择比的影响。利用场发射扫描电镜（SEM）及原子力显微镜（AFM）对刻蚀图形的表面形貌进行了观察。利用傅里叶变换红外光谱仪对其红外透过...
关键词：宽波段 抗反射亚波长结构 反应离子刻蚀 刻蚀速率 
GeC薄膜的射频磁控反应溅射制备及性质被引量：2
《物理学报》2008年第10期6587-6592,共6页李阳平 刘正堂 刘文婷 闫峰 陈静 
国家航空科学基金(批准号:04G53043)资助的课题~~
用射频磁控反应溅射法在ZnS衬底上制备了GeC薄膜,研究了工艺参数对Ge靶溅射及GeC薄膜红外透射性能的影响.衬底温度较低时GeC薄膜中含有H,形成了CH2,CH3,Ge-CH3等,使薄膜产生红外吸收;随衬底温度升高,薄膜红外吸收明显减小.靶基距、射频...
关键词：GeC薄膜 红外透射光谱 射频磁控溅射 XPS 
蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析被引量：2
《微细加工技术》2007年第6期18-20,共3页徐启远 刘正堂 李阳平 闫峰 
利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数。结果表明,当二维亚波长结构的...
关键词：亚波长结构 增透 周期 占空比 高度 
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