霍炳至

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：脉冲激光沉积衬底温度PLD光学电学特性更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
所获基金：辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
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衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的光学和电学特性的影响被引量：5
《人工晶体学报》2007年第1期129-133,共5页赵子文 胡礼中 张贺秋 孙景昌 刘维峰 骆英民 霍炳至 
国家自然科学基金重点项目(No.50532080);辽宁省科学技术基金(No.20022133)
利用脉冲激光沉积法(PLD)在c面蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜并对其进行了X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、光致发光(PL)谱和霍尔(Hall)测试。RHEED和XRD分析表明,温度在350℃至550℃之间时,ZnO薄膜的结晶质量随着衬底温度的...
关键词：ZNO薄膜 脉冲激光沉积 衬底温度 
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