周晓龙

作品数:1被引量:10H指数:1
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供职机构:河北半导体研究所更多>>
发文主题:单晶材料INP单晶孪晶LEC法生长更多>>
发文领域:电子电信冶金工程更多>>
发文期刊:《电子工业专用设备》更多>>
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InP单晶材料现状与展望被引量:10
《电子工业专用设备》2005年第10期10-14,23,共6页孙聂枫 周晓龙 陈秉克 孙同年 
国家自然科学基金项目(编号:60276008)的支持。
介绍了制备InP单晶材料的主要方法,包括传统液封直拉技术(LEC)、改进的LEC技术、气压控制直拉技术(VCZ0PC-LEC)0垂直梯度凝固技术(VGF)0垂直布里奇曼技术(VB)等。对这些方法进行了分析和对比,指出各种方法的优势和发展方向。还讨论了大...
关键词:液封直拉法 气压控制直拉法 垂直梯度凝固 单晶材料 
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