周步康

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:中国科学院新疆理化技术研究所更多>>
发文主题:铁掺杂负温度系数划片电学参数补偿度更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《电子元件与材料》更多>>
所获基金:新疆维吾尔自治区自然科学基金更多>>
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铁掺杂对不同导电类型硅材料电阻率的影响被引量:3
《电子元件与材料》2013年第7期10-13,共4页周步康 范艳伟 陈朝阳 
新疆维吾尔自治区自然科学基金资助项目(No.2010211B24);乌鲁木齐市科技项目资助(No.C101110001)
采用电阻率为4.8.cm的p型硅片和10.cm的n型硅片,通过高温扩散法制备出了Fe掺杂的补偿硅材料。在室温避光条件下,测量样品电阻率ρ,并用XRD对扩散后的样品进行分析,研究了Fe掺杂对不同导电类型硅材料电阻率的影响。结果表明:相对于n型硅...
关键词:P型硅 N型硅 深能级杂质 Fe 电阻率 补偿度 
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