孙家胤

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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：金氮化镓发光二极管氮化镓发光二极管键合工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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采用金-金键合工艺制备垂直结构氮化镓发光二极管(英文)
《功能材料与器件学报》2010年第3期276-280,共5页欧欣 陈静 武爱民 孙家胤 
本文在采用键合工艺制备以硅为衬底的氮化镓发光二极管的工艺过程中分别尝试采用金-金,金-硅,铝-铝,铝-硅键合对。研究发现金-金键合对得到了100%的键合面积。键合工艺结束后,采用KrF激光分离氮化镓发光二极管的器件层和原蓝宝石衬底。...
关键词：晶圆键合 氮化镓 发光二极管 剥离 
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