朱立伟

作品数：4被引量：8H指数：2
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：自标定超精密硅片气浮轴承超精密定位更多>>
发文领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《中国机械工程》《工具技术》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
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超精密工作台自标定不确定度定量评价被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2006年第8期1384-1387,共4页朱立伟 朱煜 尹文生 
国家"九七三"重点基础研究项目(2003CB716204;2004CB318007)
为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度,提出了基于M on te C arlo模拟的自标定不确定度定量评价方法。该方法以自标定算法的最大不确定度放大倍数为评价指标,通过根据算法输入参数联合概率密度函数的大量随...
关键词：超精密工作台 自标定 定量评价 MONTE CARLO模拟 
二维超精密工作台自标定算法
《工具技术》2006年第7期12-16,共5页朱立伟 朱煜 尹文生 
国家973重点基础研究发展计划项目(项目编号:2003cb716204;2004CB318007)
基于刚性运动学理论建立了二维超精密工作台运动测量模型,并在此基础上使用辅助测量装置的三个测量位姿和二维傅里叶变换提出了二维超精密工作台自标定算法;通过应用实例验证了该算法的可行性和有效性。
关键词：超精密 二维工作台 自标定 
超精密二维工作台自标定技术研究被引量：7
《中国机械工程》2005年第20期1787-1790,共4页朱立伟 朱煜 尹文生 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003cb716204)
基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过程中的传递特性,在此基础上提出了超精密二维工作台自标定算法。给出了一个应用实例,验证了该算法的可行性和有效性。
关键词：超精密 二维工作台 自标定 测量不确定度分析 
IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究被引量：4
《电子工业专用设备》2005年第3期20-24,共5页朱煜 朱立伟 尹文生 段广洪 
国家重点基础研究发展计划支持项目穴2003cb716204雪
在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法。仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中...
关键词：超精密 工作台 自标定 
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