王林海

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供职机构:河北工业大学更多>>
发文主题:砷化镓磁敏传感器磁场测量液相外延层液相外延更多>>
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用Te、Sn双掺杂改善GaAs液相外延层载流子浓度纵向分布均匀性
《半导体技术》1994年第2期39-41,共3页 袁炳辉 杨瑞霞 王林海 
探索用Te、Sn双掺杂实现掺杂剂分布正负梯度互补改善杂质纵向分布均匀性的外延工艺,讨论了有关问题,报道了主要结果。
关键词:砷化镓 液相外延 载流子浓度 分布 
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