穆怀普

作品数：1被引量：16H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
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旋转圆柱靶磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计被引量：16
《真空科学与技术学报》2012年第10期913-918,共6页陈长琦 穆怀普 刘腾飞 裘一冰 
基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化...
关键词：磁控溅射 旋转靶阴极 磁场模拟 结构设计 
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