胡小娟

作品数：2被引量：8H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：大行程测头系统闭环控制系统微器件综合补偿更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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微球球度测量技术的研究进展被引量：5
《中国机械工程》2016年第9期1271-1277,共7页黄强先 胡小娟 卞亚魁 梅腱 张连生 陈丽娟 
国家自然科学基金资助项目(51475131)
根据目前微球球度测量技术的原理,首先将其分为接触式测量和非接触式测量,其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法,就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍和比较,并指出各种测量技术需要解决的问题。然后针对这些技术...
关键词：微球 球度 三维测量 微纳测量 
基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描被引量：3
《光学精密工程》2014年第3期656-663,共8页黄强先 尤焕杰 袁丹 赵阳 胡小娟 
国家自然科学基金资助项目(No.50975075)
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用...
关键词：原子力显微镜(AFM) 硅悬臂梁 高阶谐振 扫描速度 
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