云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 胡继刚

胡继刚: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学技术大学更多>>; 发文主题：光刻机偶氮苯表面起伏光栅平面反射镜偶氮苯聚合物更多>>; 发文领域：电子电信理学机械工程更多>>; 发文期刊：《中国激光》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学技术大学青年创新基金安徽省自然科学基金更多>>

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均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用被引量：5: 《中国激光》2012年第4期214-217,共4页王向贤汪波傅强陈漪恺胡继刚张斗国明海; 国家973计划(2011CB301802);国家自然科学基金(61177053;11004182);安徽省自然科学基金(11040606Q26);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2012Z272);中国科学技术大学青年创新基金资助课题; 优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法...; 关键词：光学制造紫外发光二极管阵列光刻