金桐

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：南开大学信息技术科学学院机器人与信息自动化研究所更多>>
发文主题：MEMS电容式微加速度计仿真MEMS器件微加速度计更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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电容式微加速度计的研制被引量：4
《传感技术学报》2008年第4期585-588,共4页谭宜勇 金桐 苏卫国 赵新 卢桂章 
国家自然科学基金资助(60674068,60475038);国家863计划资助(2006AA04Z304);南开大学科技创新基金资助
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利...
关键词：MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺 虚拟运行 
一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真被引量：1
《传感技术学报》2006年第05B期2177-2181,2185,共6页金桐 赵新 谭宜勇 孙广毅 卢桂章 
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有...
关键词：MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺 
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