唐佳丽

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发文主题：直流锅炉阳极键合微等离子体超声空化超声波发生器更多>>
发文领域：电子电信机械工程核科学技术理学更多>>
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阳极键合应力的原位拉曼光谱研究
《华东理工大学学报（自然科学版）》2016年第3期363-368,共6页明小祥 唐佳丽 于新海 
介绍了一种基于原位激光拉曼光谱的阳极键合应力研究方法。通过自制的小型阳极键合装置,结合激光拉曼光谱仪,原位研究了在阳极键合升温、通电和降温过程中硅界面应力的演变过程。升温过程中单晶硅的拉曼峰位会向低波数移动,通电恒温键...
关键词：阳极键合 拉曼光谱 应力 原位 
基于微带谐振器的三维约束微波微等离子体源的实现
《华东理工大学学报（自然科学版）》2016年第2期271-276,共6页唐佳丽 明小祥 于新海 王正东 
通过理论计算及HFSS仿真设计了微带谐振器,并通过比对三维约束结构存在的HFSS仿真结构验证了三维结构的可行性。实测制备的微带谐振器空载谐振频率为2.5GHz,回波损耗系数(S11)为-17.94dB。该微带谐振器成功实现了三维约束微尺度下,工作...
关键词：微带谐振器 HFSS 微等离子体 斯塔克展宽 
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