姚建可

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供职机构：北京大学深圳研究生院更多>>
发文主题：薄膜晶体管沟道晶体管氧化亚铜绝缘性能更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
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p-Si（100）衬底上反应磁控溅射制备HfO2薄膜的工艺和性能研究
《功能材料与器件学报》2019年第2期99-106,共8页李霞 姚建可 邓伟 肖祥 贺鑫 张盛东 
02国家重大专项
我们采用反应磁控溅射的方法在p-Si(100)衬底上制备了Hf O2薄膜。我们对制备的工艺进行了摸索。设计了不同的实验条件。分别在不同的工艺条件下制备得到Hf O2薄膜。在不同氧分压条件下制备了一组Hf O2薄膜,在不同的溅射功率条件下制备...
关键词：反应磁控溅射 HFO2 薄膜 工艺 性能 
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