张少强

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
发文主题：RAMAN光谱分析RAMAN光谱非晶硅膜硅膜结晶度更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》更多>>
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准分子激光诱导结晶硅膜的Raman光谱分析被引量：1
《上海交通大学学报》2001年第6期947-950,共4页戴永兵 沈荷生 张志明 张少强 徐重阳 李兴教 
采用 Xe Cl准分子激光器对 PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理 .对结晶膜的晶体质量进行了 Raman光谱表征 .研究表明 ,对于非扫描模式 ,晶化前去氢处理可使结晶膜具有更高的结晶度 ,即氢的存在阻碍非晶硅的晶化 .玻璃衬底与非晶...
关键词：准分子激光 非晶硅膜 RAMAN光谱 诱导晶化处理 结晶膜 结晶度 
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