非晶硅膜

作品数：22被引量：8H指数：1
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TFT栅极绝缘层和非晶硅膜层的ITO污染对电学特性影响的研究被引量：1
《液晶与显示》2015年第6期930-936,共7页王守坤 袁剑峰 郭会斌 郭总杰 李升玄 邵喜斌 
本文对TFT在栅极绝缘层和非晶硅膜层沉积过程中,透明电极ITO成分对膜层的污染和TFT电学性质的影响进行分析研究。通过二次离子质谱分析和电学测试设备对样品进行分析。ITO成分会对PECVD设备、栅极绝缘层和非晶硅膜层产生污染,并会影响TF...
关键词：薄膜晶体管 化学气相沉积 栅极绝缘层 有源层 非晶硅膜 氧化铟锡 电学特性 
TFT有源层刻蚀均一性和电学性质的研究被引量：1
《液晶与显示》2015年第5期801-806,共6页王守坤 袁剑峰 郭总杰 郭会斌 刘杰 郑云友 贠向南 李升玄 邵喜斌 
对TFT制作工艺中,TFT有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有源层的刻蚀功率,气体比例及刻蚀压强对有源层的刻蚀均一性都有较大影响,并会影响TFT电学特性的均一性。...
关键词：薄膜晶体管 加强型阴极耦合等离子体 有源层 非晶硅膜 均一性 
射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响被引量：1
《功能材料》2015年第3期3033-3036,3040,共5页鲁媛媛 李贺军 杨冠军 蒋百灵 杨超 
国家自然科学基金重点资助项目(51221001)
于不同射频功率下制备出非晶Si膜并对其进行真空退火处理,采用XRD、TEM和少子寿命测试仪等检测手段分析了退火前后薄膜的微观结构及电学性能。研究发现,随着射频功率的增加,薄膜的中程有序度和少子寿命均呈先增后减的趋势。经真空退火...
关键词：硅膜 射频功率 真空退火 微观结构 少子寿命 
脉冲激光晶化超薄非晶硅膜的分子动力学研究
《物理学报》2010年第8期5681-5686,共6页陈谷然 宋超 徐骏 王旦清 徐岭 马忠元 李伟 黄信凡 陈坤基 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613401;2007CB935401);国家自然科学基金(批准号:10874070);江苏省自然科学基金(批准号:BK2008253)资助的课题~~
利用准分子脉冲激光晶化非晶硅薄膜是制备高密度尺寸可控的硅基纳米结构的有效方法之一.本文将脉冲激光对非晶硅超薄膜的影响处理为热传导问题,采用了基于Tersoff势函数的分子动力学方法模拟了在非晶氮化硅衬底上2.7nm超薄非晶硅膜的脉...
关键词：非晶硅 分子动力学 脉冲激光晶化 
大理将建玻砖生产线
《建筑玻璃与工业玻璃》2008年第1期35-35,共1页
近日，大理白族自治州高新技术开发区管理委员会与源畅高科技集团有限公司签署了大理太阳能非晶硅膜光电项目投资协议。该项目是由外交部波恩项目筹备办一手促成的外交部在云南省启动的第一个项目。
关键词：大理白族自治州 生产线 高新技术开发区 项目投资 管理委员会 非晶硅膜 太阳能 
氧、氮掺杂硅基薄膜的荧光光谱被引量：2
《光谱学与光谱分析》2003年第1期149-153,共5页黄翀 石旺舟 俞波 
广东省科学基金资助课题
采用磁控溅射法制备了氧、氮掺杂的非晶硅膜 ,测量了薄膜的荧光光谱 ,获得了包括红光、绿光、蓝光及紫光和紫外的强荧光发射 ,其荧光特性受氮、氧含量及沉积时基片温度的影响。结果表明 :红光包括起源于量子限制效应的宽带及氧缺陷能级...
关键词：氧 氮 掺杂 硅基薄膜 荧光光谱 非晶硅膜 磁控溅射法 
准分子激光诱导结晶硅膜的Raman光谱分析被引量：1
《上海交通大学学报》2001年第6期947-950,共4页戴永兵 沈荷生 张志明 张少强 徐重阳 李兴教 
采用 Xe Cl准分子激光器对 PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理 .对结晶膜的晶体质量进行了 Raman光谱表征 .研究表明 ,对于非扫描模式 ,晶化前去氢处理可使结晶膜具有更高的结晶度 ,即氢的存在阻碍非晶硅的晶化 .玻璃衬底与非晶...
关键词：准分子激光 非晶硅膜 RAMAN光谱 诱导晶化处理 结晶膜 结晶度 
几种制备非晶硅膜的CVD新技术
《电子工业专用设备》1997年第2期27-32,共6页程开富 
在介绍光—ＣＶＤ制备非晶硅膜的同时，简要介绍国外近几年报导的电子回旋共振微波等离子体低温ＣＶＤ（简称ＭＰＣＶＤ）、ＣＬＴ—ＣＶＤ。
关键词：CVD 非晶硅膜 半导体光电器件 
蓖麻醇酸甲酯主要裂解产物的毛细管柱气相色谱分析
《分析化学》1996年第9期1110-1110,共1页张桂琴 李来明 
关键词：毛细管柱 蓖麻醇酸甲酯 气相色谱 非晶硅膜 
交联极性固定相非晶硅膜改性弹性玻璃毛细管气相色谱柱的研制
《分析化学》1996年第3期353-355,共3页张桂琴 吴文勇 王元鸿 
交联FFAP极性固定相非晶硅膜改性弹性玻璃毛细管气相色谱柱是一种新柱型，具有技效高、化学惰性好、稳定性好、抗溶剂、抗腐蚀和耐高温等性能，本文报道了该新型色谱柱的制备及其性能研究。
关键词：非晶硅膜 毛细管柱 极性固定相 气相色谱 FFAP 
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