俞波

作品数：4被引量：11H指数：2
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供职机构：汕头大学理学院物理系更多>>
发文主题：硅基薄膜氮掺杂XNPECVD红外吸收光谱更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《汕头大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：广东省科技计划工业攻关项目广东省自然科学基金更多>>
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氧、氮掺杂硅基薄膜的荧光光谱被引量：2
《光谱学与光谱分析》2003年第1期149-153,共5页黄翀 石旺舟 俞波 
广东省科学基金资助课题
采用磁控溅射法制备了氧、氮掺杂的非晶硅膜 ,测量了薄膜的荧光光谱 ,获得了包括红光、绿光、蓝光及紫光和紫外的强荧光发射 ,其荧光特性受氮、氧含量及沉积时基片温度的影响。结果表明 :红光包括起源于量子限制效应的宽带及氧缺陷能级...
关键词：氧 氮 掺杂 硅基薄膜 荧光光谱 非晶硅膜 磁控溅射法 
玻璃表面增透膜的溶胶-凝胶法制备被引量：3
《汕头大学学报（自然科学版）》2002年第2期23-27,共5页俞波 陈一匡 方向明 石旺舟 
Si O2 薄膜具有结构可控、折射率可调等优点 .以正硅酸乙酯为主要原料 ,采用溶胶-凝胶法 ,通过改变去离子水、乙醇和催化剂的含量 ,在不同配比下制备了 Si O2 薄膜 ,测定了薄膜的形貌以及透光性能 .结果表明 :在优化工艺参数基础上 ,在...
关键词：增透薄膜 溶胶-凝胶法 正硅酸乙酯 二氧化硅薄膜 玻璃镀膜 
氧化层对硅片上生长Au膜微结构的影响
《汕头大学学报（自然科学版）》2002年第1期54-57,共4页俞波 石旺舟 
采用 X-射线衍射与扫描电镜观察相结合研究了中间氧化层对硅片上沉积 Au- As合金薄膜的微结构的影响 .结果表明 :氧化层一方面影响 Au- As合金膜的成核生长 ,使其晶粒细化和生长速率下降 ;另一方面 ,氧化层降低了 Au- Si界面扩散反应的...
关键词：氧化层 Au-As合金薄膜 界面结构 硅片 金-砷合金薄膜 微结构 成核生长 
非晶SiO_xN_y薄膜的红外吸收光谱研究被引量：6
《光谱学与光谱分析》2001年第2期187-189,共3页石旺舟 欧阳艳东 俞波 
广东省重点科技项目! (2KB0 0 80 5G)资助课题
通过改变O和N含量研究了SiOxNy 薄膜中从 6 0 0到 16 0 0cm- 1 范围内的红外吸收谱特征。结果表明 ,起源于单一Si—O、Si—N键的吸收峰在 110 5和 86 5cm- 1 处 ;而随着薄膜中O或N含量的升高 ,位于单一键吸收峰的两侧出现因O—Si—O、N...
关键词：硅基薄膜 晶格振动 红外吸收光谱 氮 氧 掺杂 制备 PECVD 
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