彭晶

作品数：1被引量：10H指数：1
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高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术被引量：10
《真空》2001年第2期36-38,共3页胡云慧 李京增 余圣发 彭晶 苏丹丹 彭传才 李伟 蒋力 刘婧 
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
关键词：银 ITO膜 柔性薄膜 连续卷绕镀膜 镀膜工艺 磁控溅射 
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