彭传才

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低辐射卷绕镀膜工艺在线透过率监控技术
《真空》2005年第4期19-21,共3页余圣发 彭传才 魏敏 胡云慧 李京增 彭晶 
介绍了卷绕镀膜生产线中镀膜工艺的透过率在线监控仪原理与实现方法,同时描述了透过率监控仪在低辐射卷绕镀膜中的应用。
关键词：低辐射 卷绕镀膜 码分多址 透过率 监控 
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术被引量：10
《真空》2001年第2期36-38,共3页胡云慧 李京增 余圣发 彭晶 苏丹丹 彭传才 李伟 蒋力 刘婧 
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
关键词：银 ITO膜 柔性薄膜 连续卷绕镀膜 镀膜工艺 磁控溅射 
反应磁控溅射沉积ITO膜工艺稳定性的研究
《真空》1999年第2期33-36,共4页胡云慧 彭传才 黄广连 
在Ｉｎ－Ｓｎ合金靶反应磁控溅射的情形下，固定基片温度、氧分压、抽速和其它相关条件，仅靠改变溅射电流来沉积一定方阻的ＩＴＯ膜。实验表明：随着工艺过程的进行，溅射电流总要呈现逐渐增加的趋势。本文分析了产生这种现象的种种原...
关键词：反应磁控溅射 稳定性 ITO膜 锡铟氧化物 薄膜 
国产ITO靶材的镀膜工艺研究
《矿冶工程》1998年第3期61-63,共3页彭传才 黄广连 胡云慧 曹志刚 余圣发 魏敏 易可可 姚吉升 唐三川 陈坚 
介绍了国产ＩＴＯ靶材磁控溅射制备ＩＴＯ膜的工艺实验。实验结果表明，国产ＩＴＯ靶材具有良好的工艺稳定性和重现性，在优选镀膜工艺参数条件下，获得了性能优良的ＩＴＯ透明导电膜，并且在室温基片上也获得了满意的结果。
关键词：ITO靶 ITO膜 放电特性 氧分压 基片温度 
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