李蓓佳

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发文主题：系统级模拟变截面梁变截面宏模型信号流图更多>>
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基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
《传感技术学报》2008年第4期607-610,共4页李蓓佳 李伟华 
国家863项目支持(2006AA04Z302)
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模...
关键词：MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路宏模型 
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