等效电路宏模型

作品数:9被引量:13H指数:2
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基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
《传感技术学报》2008年第4期607-610,共4页李蓓佳 李伟华 
国家863项目支持(2006AA04Z302)
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模...
关键词:MEMS设计 系统级模拟 薄膜 受力分析 等效电路宏模型 
MEMS微传感器件IP库的建立方法被引量:1
《电子器件》2005年第3期690-692,695,共4页殷刚毅 
为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关...
关键词:等效电路宏模型 系统级 SPICE IP库 
固支梁微传感器等效电路宏模型及IP库的建立被引量:2
《固体电子学研究与进展》2004年第1期68-72,122,共6页闻飞纳 李伟华 戎华 
国家(8 63计划)资助项目(课题编号 :2 0 0 2 AA40 40 10);教育部重大项目(重大 0 2 16)
针对 MEMS器件中的固支梁结构 ,采用了 SPICE中标准多项式受控源的形式和模态分析的方法 ,运用 F-I类比的电路形式建立了固支梁微传感器的多模态小信号等效电路宏模型 ,并建立了相应的 IP模型库单元。在外加力作用下 ,用 SPICE软件调用...
关键词:MEMS 固支梁 受控源 微传感器 等效电路 宏模型 IP库 
梳状谐振器的大信号等效电路宏模型被引量:2
《Journal of Semiconductors》2004年第2期185-189,共5页闻飞纳 李伟华 戎华 
国家高技术研究发展计划 (课题编号 :2 0 0 2 AA40 40 10 );教育部 ( No.0 2 16)资助项目~~
研究了梳状谐振器在大信号作用下的机电特性方程 .采用 SPICE中的多项式受控源 ,给出了其 F - I类比的大信号等效电路 ,同时根据所得到的等效电路宏模型运用 SPICE软件进行了系统级的模拟 ,并采用两种方法进行了验证 .
关键词:梳状谐振器 大信号 SPICE 宏模型 
悬臂梁的受控源等效电路宏模型的建立及验证被引量:1
《微纳电子技术》2003年第7期76-79,共4页闻飞纳 李伟华 戎华 
国家 8 63计划资助项目 (2 0 0 2AA40 40 10);教育部重大项目(0 2 16)
针对能代表MEMS器件特征的悬臂梁结构 ,采用了SPICE中标准多项式受控源的形式建立悬臂梁的多模态小信号等效电路宏模型。在外力的作用下 ,用SPICE软件对此悬臂梁宏模型和外加电路进行了系统级的模拟 ,得到分布参数的力传感器的输出电压...
关键词:悬臂梁 受控源 等效电路 宏模型 MEMS器件 
多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型
《微纳电子技术》2003年第7期44-47,共4页戎华 黄庆安 李伟华 
实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型。由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型 ,已做过深入的研究 ,但实际的MEMS器件通常都是多层的 .本文提出了一种基于力 电压 (F V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效...
关键词:微机电系统 多层梁 机电耦合系统 等效电路 宏模型 力-电压类比 
理想静电传感器的大信号等效电路宏模型
《电子器件》2003年第3期283-286,共4页闻飞纳 李伟华 戎华 
国家863计划资助项目(课题编号:2002AA404010);教育部重大项目(重大0216)
从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理...
关键词:受控源 大信号等效电路 宏模型 理想静电传感器 
F-I类比方法及MEMS梁的等效电路宏模型被引量:2
《Journal of Semiconductors》2003年第5期528-533,共6页戎华 黄庆安 李伟华 
建立了一种基于力 -电流 ( F- I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型 ,与已有的基于力 -电压 ( F- V)类比的等效电路宏模型相比 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型的电网络与原来的机械网络具有相同的...
关键词:F-I类比 力-电流类比 等效电路宏模型 MEMS梁 模态分析 拉格朗日方程 微机电系统 
系统级模拟的MEMS器件宏模型被引量:6
《真空科学与技术》2002年第5期366-371,共6页戎华 黄庆安 李伟华 
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等...
关键词:MEMS器件 系统级模拟 等效电路宏模型 硬件描述语言宏模型 微机电系统 
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