杨永刚

作品数：1被引量：10H指数：1
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硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究被引量：10
《微纳电子技术》2007年第7期48-50,共3页孙凤玲 于海超 王金文 方建雷 杨永刚 
微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠...
关键词：硅压阻式压力传感器 漂移 惠斯顿电桥 补偿 优化 
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