于海超

作品数：2被引量：14H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文主题：硅压阻式压力传感器温度补偿漂移传感器恒温法更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《微纳电子技术》更多>>
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基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计被引量：4
《传感器与微系统》2009年第6期104-106,109,共4页蔡春丽 刘志远 王惠玲 于海超 王洪岩 
设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0....
关键词：传感器 气体流量 热膜 
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究被引量：10
《微纳电子技术》2007年第7期48-50,共3页孙凤玲 于海超 王金文 方建雷 杨永刚 
微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠...
关键词：硅压阻式压力传感器 漂移 惠斯顿电桥 补偿 优化 
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