牛晓云

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：干涉光刻超分辨表面等离子体激元光学设计相位板更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《光子学报》《四川大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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SPPs光刻曝光显影模拟研究被引量：2
《光子学报》2010年第5期792-796,共5页郑宇 王景全 李敏 牛晓云 杜惊雷 
国家自然科学基金(60676024);教育部博士点基金(20060610006)资助
基于薄层抗蚀剂的曝光模型,建立了普遍适应于表面等离子体激元光刻的抗蚀剂曝光模型.选用AZ1500和AR3170两种抗蚀剂对表面等离子体激元干涉光刻曝光显影过程进行计算对比,获得表面等离子体激元光刻显影的最终轮廓.由此得出工艺优化的条...
关键词：SPPs光刻 干涉光刻 曝光潜像 显影轮廓 
无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
《四川大学学报（自然科学版）》2009年第5期1423-1428,共6页郑宇 王景全 金凤泽 张志友 牛晓云 杜惊雷 
国家自然科学基金(60676024);教育部博士点基金(20060610006)
多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计...
关键词：多束SPPs 干涉光刻 模拟软件 混合编程 
基于表面等离子体激元耦合相位板超聚焦透镜结构的优化设计被引量：6
《光学学报》2009年第9期2524-2528,共5页张志友 杜惊雷 李敏 牛晓云 
国家自然科学基金(60878031;60376021);高等教育博士点专项基金(20060610006)资助项目
基于银板超透镜和多带相位二元光学衍射理论,提出一种超聚焦透镜结构。利用时域有限差分和标量衍射理论数值分析显示,这种超透镜在可见光范围,具有单一焦点,焦斑尺寸约0.36 λ,聚焦位置和焦深可达10 λ以上,在近场光学扫描显微镜和超分...
关键词：光学设计 表面等离子体激元 纳米聚焦 超分辨 长焦深 
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