王哲

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜被引量：7
《光学技术》2001年第6期501-502,共2页高劲松 孙连春 郑宣明 王哲 
利用射频磁控溅射技术在有机玻璃表面上一次完成表面活化、ITO膜制备、SiO2 减反射膜制备过程。利用低能等离子体对有机玻璃表面进行改性以提高ITO膜的附着力。研究了氧分压等工艺参数对ITO膜导电性能及光学性能的影响。
关键词：ITO膜 射频磁控溅射 表面改性 低温成膜 有机玻璃 
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