郑宣明

作品数：11被引量：39H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：衍射效率X光栅互连光学薄膜更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学仪器》《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》更多>>
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SiO_2单层膜的反常色散研究被引量：2
《光子学报》2009年第8期2006-2010,共5页李香波 高劲松 王彤彤 王笑夷 陈红 郑宣明 申振峰 朱华新 尹少辉 刘小涵 王珊珊 
国家自然科学基金(60478035)资助
利用等效折射率概念分析了SiO2单层膜反常色散出现的原因,并在1.1m镀膜机上证明了理论分析的合理性.结果表明,理论分析与实验结果一致,沿薄膜厚度方向折射率的对称周期变化使薄膜的等效折射率变化在可见光波段与致密膜层的变化不一致,...
关键词：光学薄膜 反常色散 等效折射率 变折射率 
结合傅里叶变换合成法设计均匀薄膜被引量：2
《光学学报》2008年第12期2436-2440,共5页朱华新 高劲松 王笑夷 王彤彤 陈红 郑宣明 申振峰 李香波 尹少辉 刘小涵 王珊珊 
基于傅里叶变换合成法的基本原理,合成了一个K9基底上的负滤光片,合成的渐变折射率薄膜具有期望光学特性,但实际制备难度很大,因此将其细分为足够多层离散折射率的均匀薄膜,由于实际薄膜材料种类有限,不能获得任意折射率膜层,鉴于两层...
关键词：光学薄膜 傅里叶变换合成法 均匀薄膜 单纯形调法 
离子源辅助电子枪蒸发制备Ge_(1-x)C_x薄膜被引量：4
《光子学报》2007年第4期715-718,共4页王彤彤 高劲松 王笑夷 宋琦 郑宣明 徐颖 陈红 申振峰 
国家自然科学基金(60478035)资助
应用电子枪蒸发纯Ge,考夫曼离子源辅助的方法在Ge基底上沉积了Ge1-xCx薄膜.制备过程中,Ge作为蒸发材料,CH4作为反应气体.通过改变CH4/（CH4＋Ar）的气体流量比（G）,制备了G从40%到85%的Ge1-xCx薄膜.应用X射线衍射仪（XRD）测量了Ge1-xC...
关键词：Ge1-xCx薄膜 电子枪蒸发 离子辅助沉积(IAD) 考夫曼离子源 
用低压反应离子镀的方法制备Ge_(1-x)C_x单层非均匀增透膜的研究被引量：3
《光学技术》2007年第2期302-304,共3页王彤彤 高劲松 王笑夷 宋琦 陈红 郑宣明 申振峰 单兆会 
国家自然科学基金资助项目(60478035)
用低压反应离子镀（RLVIP）的方法在Ge基底上制备了Ge1-xCx单层非均匀增透薄膜。随着沉积速率在0．05-0．4nm／s之间的变化，其折射率在2．31～3．42之间可变。实验结果表明，镀制的Ge1-xCx单层非均匀增透保护薄膜均为无定形结构，并实...
关键词：Ge1-xCx 低压反应离子镀(RLVIP) 增透膜 非均匀膜 
低压反应离子镀制备Ge_(1-x)C_x薄膜的硬度研究被引量：1
《光学仪器》2006年第4期79-82,共4页王彤彤 高劲松 王笑夷 宋琦 陈红 郑宣明 申振峰 单兆会 凌伟 
国家自然科学基金资助项目(60478035)
应用低压反应离子镀的薄膜制备方法在G e基底上沉积了G e1-xCx薄膜,随着沉积速度在0.1nm/s^0.9nm/s之间变化,G e1-xCx薄膜的硬度在2.12 GPa^11.066 GPa之间可变,当沉积速率为0.9nm/s时,G e1-xCx薄膜最大硬度为11.066 GPa。XRD测试结果表...
关键词：Ge1-xCx 硬度 低压反应离子镀(RLVIP) 
红外透明导电金属网栅薄膜被引量：16
《光学技术》2001年第6期558-559,共2页高劲松 孙连春 郑宣明 朱世栋 赵晶丽 
介绍了一种既高效透过红外光 ,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响。介绍了利用光刻和镀膜技术 ,在红外基片上制作线条宽度小于 10 μm ,周期约 35 0 μm的金属网栅。
关键词：光刻 镀膜 金属网栅 电磁屏蔽 红外 
在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜被引量：7
《光学技术》2001年第6期501-502,共2页高劲松 孙连春 郑宣明 王哲 
利用射频磁控溅射技术在有机玻璃表面上一次完成表面活化、ITO膜制备、SiO2 减反射膜制备过程。利用低能等离子体对有机玻璃表面进行改性以提高ITO膜的附着力。研究了氧分压等工艺参数对ITO膜导电性能及光学性能的影响。
关键词：ITO膜 射频磁控溅射 表面改性 低温成膜 有机玻璃 
表面反射对菲涅耳透镜的影响被引量：1
《光学学报》2001年第9期1134-1138,共5页李红军 卢振武 廖江红 翁志成 郑宣明 赵晶丽 
使用薄膜沉积法制作 16阶菲涅耳透镜 ,用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化 ,并增加系统设计的自由度。在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析SiO2 薄膜和基底的表面反射对菲涅耳透镜 - 1级衍射效率的...
关键词：薄膜沉积 菲涅耳透镜 表面反射 衍射效率 成像质量 光学元件 
互连光栅衍射模式的设计与研究：1．矩型位相光栅被引量：4
《光学精密工程》1994年第1期31-34,共4页孙德贵 黄颖 何丽明 卢振武 郑宣明 赵晶丽 
国家自然科学基金
根据近年来光互连对光栅衍时模式的要求，对矩型位相光栅进行了结构设计，以产生只含有０级和±１级，或只含有±１级的两种特殊的衍射模式，分别用于实现光学蝶形互连或操纵器网络互连等。论文给出了详细的计算和实验结果。
关键词：正弦位相光栅 衍射模式 衍射效率 
互连光栅衍射模式的设计与研究：Ⅰ.矩型位相光栅被引量：2
《光学精密工程》1994年第1期26-30,共5页孙德贵 黄颖 何丽明 卢振武 郑宣明 赵晶丽 
国家自然科学基金
根据近年来光互连对光栅衍时模式的要求，对矩型位相光栅进行了结构设计，以产生只含有０级和±１级，或只含有±１级的两种特殊的衍射模式，分别用于实现光学蝶形互连或操纵器网络互连等。论文给出了详细的计算和实验结果。
关键词：矩型位相光栅 衍射模式 衍射效率 
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