廖江红

作品数：8被引量：47H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：衍射光学元件衍射效率菲涅耳透镜激光直写二元光学元件更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《光子学报》《中国激光》《光学精密工程》更多>>
所获基金：应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
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入射光波波长对菲涅耳透镜衍射效率的影响被引量：2
《中国激光》2001年第10期909-912,共4页李红军 李凤友 卢振武 廖江红 翁志成 
使用离子束刻蚀法成功制作高衍射效率 16阶菲涅耳透镜。菲涅耳透镜的衍射效率是评价菲涅耳透镜质量的一个重要指标。对于宽带光学系统 ,除设计、制作误差外 ,入射光波波长对菲涅耳透镜的衍射效率也有影响。针对宽带折衍混合光学系统 ,...
关键词：宽带光学系统 菲涅耳透镜 衍射效率 入射光波波长 
表面反射对菲涅耳透镜的影响被引量：1
《光学学报》2001年第9期1134-1138,共5页李红军 卢振武 廖江红 翁志成 郑宣明 赵晶丽 
使用薄膜沉积法制作 16阶菲涅耳透镜 ,用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化 ,并增加系统设计的自由度。在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析SiO2 薄膜和基底的表面反射对菲涅耳透镜 - 1级衍射效率的...
关键词：薄膜沉积 菲涅耳透镜 表面反射 衍射效率 成像质量 光学元件 
菲涅耳透镜的制作及性能分析(对准误差的影响)(英文)
《光子学报》2001年第3期325-330,共6页李红军 卢振武 廖江红 翁志成 
我们使用薄膜沉积法制作 1 6阶菲涅耳透镜 ,其衍射效率接近 87% .用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度 .在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析 Si O2 薄膜和基底的表面反射、...
关键词：薄膜沉积 菲涅耳透镜 表面反射 对准误差 入射角 衍射效率 
二元光学元件激光直接写入设备的研制被引量：11
《仪器仪表学报》2001年第2期154-157,共4页张景和 廖江红 刘伟 冯晓国 
本文介绍了二元光学元件制作的基本情况 ,国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术 ,给出了导轨、传动系统、回转...
关键词：二元光学元件 激光直写设备 临界角法 研制 导轨 传动系统 回转轴系 调焦伺服机构 
离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜被引量：2
《微细加工技术》2001年第1期26-29,66,共5页李红军 卢振武 廖江红 翁志成 王乃强 刘金声 
由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点 ,它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要 ,应用于光学成像系统 ,不仅能改善系统成像质量 ,而且能实现系统的轻量化、小型化 ,增加系统设计的自由度。使用离子束...
关键词：衍射光学元件 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 衍射效率 
激光直写系统焦斑整形的研究被引量：19
《光学精密工程》2001年第1期14-18,共5页李凤友 李红军 卢振武 廖江红 
应用光学国家重点实验室基金资助项目! (DA 0 0 Q0 5 D)
针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善...
关键词：激光直写 光束整形 衍射光学元件 DOE 光刻 
灰度掩模技术被引量：13
《微细加工技术》2000年第1期10-15,共6页李红军 李凤有 于利民 曹颖静 卢振武 廖江红 翁志成 
二元光学被誉为“1 990年代的光学技术” ,在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法 ,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法。二元光学元件加工方法存在周期长、成本...
关键词：二元光学 衍射光学元件 二元光学元件加工 激光直写 灰度掩模 
具有任意图形编码的二值位相光栅的制作
《光学精密工程》1997年第1期10-15,共6页桑涛 廖江红 卢振武 赵晶丽 翁志成 
基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作过程。其中包括振幅掩模母版的制作和掩模图形的转移两部分。针对制作的２５×２５扇出的Ｄａｍｍａｎｎ光栅，给出了实测结果，即：扇出点光强的均匀性偏差（以最...
关键词：光栅 衍射 VLSI 光学信息处理 
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