田莉

作品数：4被引量：21H指数：2
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供职机构：中南大学物理与电子学院更多>>
发文主题：离子束溅射精密电阻电阻应变计电学性质压力传感器更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《武汉理工大学学报》《中南大学学报（自然科学版）》《材料导报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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氮分压对离子束溅射镍铬合金薄膜的影响
《武汉理工大学学报》2006年第10期21-23,41,共4页田莉 周继承 晏建武 
国家自然科学基金(60371046)
研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数(TCR)以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌,用Alpha-Step IQ台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方块电阻。结果表明:薄膜沉积速率随氮气分压增大而减小;热处...
关键词：NiCr薄膜 表面形貌 电阻率 TCR 
热处理对离子束溅射Ni-Cr薄膜性能和结构的影响被引量：2
《中南大学学报（自然科学版）》2006年第5期837-840,共4页周继承 晏建武 田莉 
国家自然科学基金资助项目(项目号60371046)
采用低能离子束溅射技术制备Ni-Cr合金薄膜,并对Ni-Cr合金薄膜进行快速热处理。用小角度X射线衍射仪、扫描电镜、原子力显微镜、α-台阶仪、四探针仪等测量薄膜的结构、形貌、厚度及电子学特性。研究结果表明:采用低能离子束溅射技术结...
关键词：离子束溅射技术 纳米Ni-Cr合金薄膜 快速热处理工艺 
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展被引量：8
《材料导报》2005年第12期31-34,共4页晏建武 周继承 鲁世强 田莉 
国家自然科学基金(NO6017043)
综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求。
关键词：合金薄膜 压力传感器 进展 
镍铬合金薄膜的研究进展被引量：13
《材料导报》2005年第7期5-7,15,共4页周继承 田莉 
国家自然科学基金项目(60171043;60371046)
镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料。简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。重点叙述了镍铬合金...
关键词：镍铬合金薄膜 制备工艺与设备 精密电阻 电阻应变计 电学性质 
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