罗志清

作品数：1被引量：11H指数：1
导出分析报告
供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
发文主题：AZOZNO:ALPECVD透明导电薄膜等离子体增强化学气相沉积更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
PECVD制备AZO(ZnO：Al)透明导电薄膜被引量：11
《物理学报》2009年第6期4260-4266,共7页陈兆权 刘明海 刘玉萍 陈伟 罗志清 胡希伟 
国家教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题~~
采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导...
关键词：AZO(ZnO:Al) 等离子体增强化学气相沉积 透明导电薄膜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部