刘玉萍

作品数：6被引量：63H指数：4
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供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
发文主题：AZO等离子体增强化学气相沉积化学气相沉积PECVD透明导电薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《绝缘材料》《现代生物医学进展》《表面技术》《节能与环保》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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PECVD制备AZO(ZnO：Al)透明导电薄膜被引量：11
《物理学报》2009年第6期4260-4266,共7页陈兆权 刘明海 刘玉萍 陈伟 罗志清 胡希伟 
国家教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题~~
采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导...
关键词：AZO(ZnO:Al) 等离子体增强化学气相沉积 透明导电薄膜 
AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展被引量：29
《真空与低温》2007年第1期1-5,20,共6页刘玉萍 陈枫 郭爱波 李斌 但敏 刘明海 胡希伟 
华中科技大学校基金(No.2006M044B)资助;教育部留学归国人员科研启动基金资助(2006)
概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展。详细介绍了磁控溅射、溶胶-凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状,并且在对AZO膜与ITO膜性能比较的基础上,指出AZO薄膜的产业化前景好。
关键词：AZO薄膜 制备技术 综述 透明导电氧化物薄膜 
薄膜太阳能电池的发展动态被引量：12
《节能与环保》2006年第11期21-23,共3页刘玉萍 陈枫 郭爱波 李斌 但敏 刘明海 胡希伟 
对目前国内外研究得最热的几种薄膜电池:非晶硅(a-Si)、多晶硅(poly-Si)、铜铟硒(CuInSe:CIS)、碲化镉(CdTe)薄膜电池的技术发展概况及商业化生产情况作了介绍,展望了薄膜太阳能电池的发展前景。
关键词：薄膜太阳能电池 非晶硅 多晶硅 铜铟硒 碲化镉 
等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究被引量：3
《表面技术》2006年第6期5-7,共3页郭爱波 刘玉萍 陈枫 李斌 但敏 刘明海 胡希伟 
鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜。扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1...
关键词：等离子体增强 化学气相沉积 SEM EDAX XPS 衬底 
羟基磷灰石(HA)的制备方法及其研究进展被引量：8
《现代生物医学进展》2006年第11期125-127,共3页但敏 李斌 陈枫 郭爱波 刘玉萍 刘明海 胡希伟 
HA生物材料作为最有发展前途的生物硬组织替代材料之一,已经成为生物医用材料研究的重点内容。本文在综合了大量的国内外文献的基础上,对羟基磷灰石的不同制备方法及国内外研究现状进行了总结及评论,并提出了相应的设想与展望。
关键词：羟基磷灰石 HA 制备 
高介电性能绝缘材料新制备方法的研究被引量：2
《绝缘材料》2006年第5期9-12,共4页李斌 但敏 郭爱波 刘玉萍 陈枫 刘明海 胡希伟 
概述了用于电容器储能的新型绝缘材料的国内外研究现状,介绍用于提高绝缘材料介电性能的新方法,即低温等离子体技术。从低温等离子体的化学活性出发,重点阐述了可以用于制备、改性绝缘材料的不同等离子体技术和这些技术的发展前景。
关键词：绝缘材料 介电性能 低温等离子体技术 
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