陈晓程

作品数：2被引量：1H指数：0
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供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文主题：描述语言自治系统自治半导体工艺微细结构更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微电子学》《世界科技研究与发展》更多>>
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应用于微结构制造自治系统的结构描述语言被引量：1
《世界科技研究与发展》2005年第6期1-8,共8页严利人 陈晓程 
本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言,包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件,都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我所提出的一种概念性系统,意指具备一定的智能,能够应对多种制...
关键词：微结构描述语言 微结构制造 自治系统 工艺开发 
结构化的微细结构描述语言MSDL
《微电子学》2005年第3期248-252,共5页严利人 陈晓程 窦维治 
文章结合实例,详细介绍了一种分五个层次定义的微细结构描述语言———MSDL(MicroStructureDescriptionLanguage)。包括集成电路、MEMS元器件等在内的任意微细结构,都可由所定义的描述语言进行描述。新器件的结构经由MSDL语言表述后,器...
关键词：微细结构描述语言 微细结构 结构分析 半导体工艺 
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