黄子谦

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供职机构：华南师范大学信息光电子科技学院更多>>
发文主题：溅射功率基底温度直流磁控溅射触摸屏镀膜工艺更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术文化科学更多>>
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低温直流磁控溅射制备ITO薄膜工艺研究
《材料保护》2014年第S1期131-133,共3页黄子谦 廖健宏 杨春云 周太游 
采用低温直流磁控溅射法针对附有有机聚合物玻璃磁控镀制ITO薄膜,通过四探针、紫外可见分光亮度计对样品进行表征,研究了基底温度、溅射功率对ITO薄膜光电性能影响,试验表明:在附有有机聚合物的玻璃上低温直流磁控溅射法制备ITO薄膜,随...
关键词：低温直流磁控溅射 ITO薄膜 溅射功率 基底温度 光电性能 
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