冼宗明

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室更多>>
发文主题：OBJECTARX掩膜灰度掩模灰度更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
任意形状图形的灰度掩模图的设计系统研究
《纳米技术与精密工程》2013年第2期152-158,共7页杜立群 冼宗明 王大志 
国家自然科学基金资助项目(51075057;50675025;50905027)
灰度掩模技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩模图设计是灰度掩模技术的重要组成部分.目前,在微机械器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构对应的灰度掩模图的设计方法,对于任意形状图形的灰度掩模图设计鲜有报道.本...
关键词：灰度掩模 设计算法 铺路法 任意形状图形 OBJECTARX 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部