季小兵

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系更多>>
发文主题：BATIO介电特性钛酸钡射频磁控溅射扫描电镜更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：江苏省教委自然科学基金更多>>
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BaTiO_3薄膜的磁控溅射生长及特性研究被引量：4
《固体电子学研究与进展》2001年第3期361-365,共5页吴彩云 季小兵 范叔平 周咏东 褚君浩 王康杰 
国家高技术航天领域青年基金 (编号 :863 -2 .0 0 .4 );江苏省教委自然科学基金 (编号 :98KJB4 3 0 0 0 1 )资助
用射频磁控溅射方法制备了 Ba Ti O3 (BT)薄膜。用扫描电镜 (SEM)观察了 Ba Ti O3 薄膜表面形貌、截面结构。电子探针分析表明样品具有良好的组份均匀性。
关键词：薄膜 射频磁控溅射 扫描电镜 介电特性 钛酸钡 
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