崔乐卿

作品数:2被引量:3H指数:1
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供职机构:清华大学更多>>
发文主题:晶圆弹簧直径尺寸夹子无接触式更多>>
发文领域:文化科学电气工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
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基于前馈辨识与非线性复合反馈的平面电动机运动控制
《机械工程学报》2012年第18期177-185,共9页李鑫 杨开明 朱煜 余东东 崔乐卿 
国家重点基础研究发展计划资助项目(973计划;2009CB724205)
控制器包括前馈项与反馈补偿,前馈用以减小加、减速段跟踪误差,反馈项用以提高系统鲁棒性并确保匀速段误差的收敛。然而实际中存在建模误差,基于名义模型计算得到的前馈系数不够准确。此外不确定项使得多自由度之间存在耦合,且无法确保...
关键词:平面电动机 建模误差 非线性复合控制 轨迹跟踪 
三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究被引量:3
《中国电机工程学报》2012年第S1期236-241,共6页余东东 杨开明 朱煜 李鑫 崔乐卿 
基金项目:国家重点基础研究发展计划项目(973项目)(2009CB724205)~~
长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等。但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声。针对上述问题,为进一步提高运动与...
关键词:平面电机 低频扰动 非线性控制 轨迹跟踪 噪声抑制 
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