田野

作品数：1被引量：4H指数：1
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发文主题：表面处理多弧离子镀金属材料物理气相沉积公民素养更多>>
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多弧离子镀沉积氮化钛铝超硬膜的研究被引量：4
《真空》2002年第1期8-10,共3页赵军 田野 于文馨 王希囡 
采用多弧离子镀技术沉积氮化钛铝超硬反应膜。考查了沉积工艺参数对膜层组织表面形态的影响 ,进行了显微硬度测定分析及膜层耐磨性实验 ,确定了氮化钛铝超硬反应膜的最佳沉积工艺。
关键词：多弧离子镀 氮化钛铝超硬反应膜 膜层组织 硬度 金属材料 表面处理 物理气相沉积 
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