米健

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供职机构：天津大学电子信息工程学院电子信息工程系更多>>
发文主题：压力传感器多晶硅压力传感器多晶硅温度系数高性能更多>>
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高性能多晶硅压力传感器的研制
《传感技术学报》1993年第1期1-6,共6页朱秀文 侯曾燏 米健 
本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10^(-6)FS/℃,...
关键词：多晶硅 压力传感器 温度系数 
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