邢娇杨

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院更多>>
发文主题：掺硼拉曼光谱扫描电子显微镜B-C-N傅立叶变换红外光谱更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《材料研究与应用》更多>>
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B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
《材料研究与应用》2009年第1期19-22,共4页贾福超 白亦真 庄春强 屈芳 邢娇杨 赵纪军 姜辛 
高等学校科技创新工程重大项目培育资金(707015);科技部973计划前期研究专项课题(2008CB617614)
采用射频磁控溅射方法．以石墨和六方氮化硼（h-BN）为复合靶，在氩气和氮气的氛围中。在室温和673K的条件下，分别改变N2流量，沉积BCN薄膜．经傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析表明，在1000-1800cm-1和2200cm-1处分别出现了C=N键和弱的...
关键词：BCN薄膜 傅立叶变换红外光谱 射频磁控溅射 
甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响被引量：3
《材料研究与应用》2009年第1期28-31,共4页屈芳 白亦真 庄春强 贾福超 邢娇杨 姜辛 
在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变...
关键词：掺硼金刚石 热丝CVD 扫描电子显微镜 拉曼光谱 
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