邵霄

作品数：2被引量：8H指数：2
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供职机构：西安工业大学更多>>
发文主题：DLC性能研究力学性能微结构电弧离子镀更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
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TiC薄膜的性能研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2008年第S1期56-59,共4页邵霄 朱昌 梁海峰 
采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分...
关键词：TiC薄膜 脉冲真空电弧离子镀 微结构 力学性能 
降低DLC薄膜应力的方法研究被引量：4
《西安工业大学学报》2007年第5期416-420,共5页朱昌 邵霄 梁海锋 
表面工程技术国防科技重点实验项目(9140C540201060C54)
为了沉积出高硬度、低应力、高膜-基结合强度的类金刚石硬质薄膜,利用脉冲电弧离子镀技术在高速钢基底上制备类金刚石薄膜,采用退火、增加Ti过渡层、Ti离子轰击等方法减小DLC薄膜应力.结果表明:单层DLC薄膜的应力可达7.742 GPa;以Ti为...
关键词：脉冲电弧 应力 类金刚石(DLC)薄膜 X射线衍射法 
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