陈闽捷

作品数：3被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系更多>>
发文主题：纳米级PECVD法傅里叶红外光谱俄歇电子能谱介质膜更多>>
发文领域：电子电信交通运输工程理学更多>>
发文期刊：《半导体技术》《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：广东省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
广州华南快速干线监控系统工程设计思考
《云南财贸学院学报（社会科学版）》2004年第5期72-73,共2页陈闽捷 
监控系统是城市(际)道路交通机电系统的重要子系统之一。广州华南快速干线是广州市车流量最大的高速公路,是一条集城市道路和城际道路功能于一体的高速公路,其出入多,车流大,要求对该路实现全路实时、多方位、全过程的监控,系统的要求...
关键词：广州市 华南快速干线 监控系统 工程设计 机电系统 城市道路 
低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究
《固体电子学研究与进展》2004年第3期381-385,共5页陈蒲生 陈闽捷 张昊 刘小阳 王锋 
广东省自然科学基金资助项目课题 (编号 :95 0 1 86)
采用俄歇电子能谱 ( AES)和傅里叶红外光谱 ( FTIR)分析低温 PECVD法形成纳米级 Si Ox Ny 介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系 ,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。研究结果表明 :该介质膜中氮、氧等元素均匀分布 ,界...
关键词：介质膜 俄歇电子能谱 傅里叶红外光谱 微观组分结构 电学性能 
PECVD形成纳米级薄膜界面陷阱特性的雪崩热电子注入研究
《半导体技术》2004年第1期51-55,共5页陈蒲生 陈闽捷 张昊 
广东省自然科学基金资助课题(编号950186)
采用雪崩热电子注入技术研究了纳米级SiOxNy薄膜界面陷阱特性。证实了PECVD SiOxNy薄膜中界面陷阱来源于悬挂键的物理模型。观察到该纳米膜内存在着受主型电子陷阱,随着注入的增长,界面上产生的这种陷阱将起主导作用。发现到界面陷阱密...
关键词：PECVD 纳米级薄膜 界面陷阱 雪崩热电子注入 SiOxNy界面 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部