云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 何辉辉

何辉辉: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：盐城工学院更多>>; 发文主题：计算机仿真化学机械抛光蓝宝石晶片蓝宝石更多>>; 发文领域：金属学及工艺更多>>; 发文期刊：《现代制造技术与装备》更多>>; 所获基金：江苏省科技厅科技攻关项目江苏省高校自然科学研究项目江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>

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蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析被引量：5: 《现代制造技术与装备》2008年第4期17-18,25,共3页王兵顾建峰何辉辉汤云霞周海陈西府冶远祥; 江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119);江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX011);盐城市科技局科技发展计划项目(YK2007018); 本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。; 关键词：蓝宝石化学机械抛光运动分析计算机仿真