云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 史成利

史成利: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：吉林大学更多>>; 发文主题：测试装置压电叠堆试件夹具纳米级更多>>; 发文领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程文化科学更多>>; 发文期刊：《机械工程学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>

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压电驱动型微纳米压痕测试装置的设计与试验研究被引量：3: 《机械工程学报》2013年第12期1-7,共7页黄虎赵宏伟史成利杨兆军万顺光耿春阳米杰; 国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ030075);国家高技术研究发展计划(863计划;2012AA041206);国家自然科学基金(50905073;51105163);吉林省科技发展计划(20110307)资助项目; 集成压电叠堆和柔性铰链设计一种微纳米压痕测试装置,分析测试装置的原理、组成和工作过程。该装置在压入方向上可实现0.05～30μm范围内线性位移输出,在无隔振和未做恒温处理的试验环境,位移传感器示数波动小于10 nm。提出一种新的机...; 关键词：微纳米压痕压电驱动机架柔度闭环控制单晶硅