万顺光

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：吉林大学更多>>
发文主题：测试装置衍射仪扫描电镜纳米压痕柔性铰链更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程文化科学一般工业技术更多>>
发文期刊：《西安交通大学学报》《机械工程学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
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压电驱动型微纳米压痕测试装置的设计与试验研究被引量：3
《机械工程学报》2013年第12期1-7,共7页黄虎 赵宏伟 史成利 杨兆军 万顺光 耿春阳 米杰 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ030075);国家高技术研究发展计划(863计划;2012AA041206);国家自然科学基金(50905073;51105163);吉林省科技发展计划(20110307)资助项目
集成压电叠堆和柔性铰链设计一种微纳米压痕测试装置,分析测试装置的原理、组成和工作过程。该装置在压入方向上可实现0.05～30μm范围内线性位移输出,在无隔振和未做恒温处理的试验环境,位移传感器示数波动小于10 nm。提出一种新的机...
关键词：微纳米压痕 压电驱动 机架柔度 闭环控制 单晶硅 
纳米压痕测试装置机架柔度直接标定法的改进被引量：4
《西安交通大学学报》2012年第8期122-127,共6页黄虎 赵宏伟 万顺光 耿春阳 米杰 
国家"863计划"资助项目(2012AA041206);国家自然科学基金资助项目(50905073);国际科技合作资助项目(2010DFA72000)
为获取纳米压痕测试装置的机架柔度,分析了Doerner-Nix、Oliver-Pharr、Sun Yong、VanVliet等几种机架柔度标定方法,并在Van Vliet方法的基础上,提出了一种直接标定纳米压痕测试装置机架柔度的改进方法.该方法在已有测试装置基础上只需...
关键词：机架柔度 标定方法 纳米压痕 
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