周燕

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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法
《人工晶体学报》2003年第4期361-365,共5页邱春文 石旺舟 王晓晶 周燕 
本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜。第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质 ;第二次引入铝是为了实现低温诱导结晶。通过对薄膜样品的拉曼谱和X射线衍射 (XRD)谱分析 ,我们认为金属低温诱导结...
关键词：性价比 多晶硅带衬底 多晶硅薄膜 等离子体化学气相沉积法 二次引铝 低温制备 太阳能电池 
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