宋源

作品数：8被引量：20H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学元件反射镜EUV夹持应力更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《核技术》《光学精密工程》《光学学报》《光谱学与光谱分析》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
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双驱动补偿压弯的椭圆镜有限元分析
《核技术》2022年第6期1-10,共10页马天宇 卢启鹏 王大壮 彭忠琦 龚学鹏 宋源 
国家自然科学基金(No.11079035、No.61974142);中国科学院长春光学精密机械与物理研究所旭光人才计划(No.E01672Y6Q0);应用光学国家重点实验室开放基金(No.SKLA02020001A09)资助。
为满足同步辐射光束线对相关光学元件的技术需求,设计了双驱动四点滚柱压弯机构。通过有限元仿真分析实现高精度大尺寸光学镜面的非等力矩椭圆柱面压弯。以外形尺寸为1200 mm×70 mm×50 mm的反射镜为研究对象,基于物距26.5 m、像距13 ...
关键词：压弯机构 椭圆柱面 有限元分析 面形误差 同步辐射 
波长漂移对近红外光谱PLSR分析模型的影响被引量：3
《光谱学与光谱分析》2022年第2期405-409,共5页卢启鹏 王动民 宋源 丁海泉 高洪智 
国家重点研发专项(2018YFD0401000);河南工业大学高层次人才金项目(2012BS050);广东省省级科技计划项目(2017B090907013);广州开发区院士专家创新创业项目(2015P-134)资助。
在近红外光谱分析过程中,单台仪器在不同时间的波长变化及多台仪器间的波长一致与否会对化学计量学定标模型的校正及传递效果产生影响,上述问题可以统一为波长漂移对定标模型的影响。以分析小麦粉中粗蛋白含量为例,首先结合不同谱区光...
关键词：近红外光谱 波长漂移 小麦粉 偏最小二乘回归 
自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析被引量：2
《中国光学》2020年第4期787-794,共8页赵晨行 卢启鹏 宋源 龚学鹏 王依 徐彬豪 
国家自然科学基金(No.11079035);国家科技重大专项(No.2012ZX02702001);国家重点研发计划(2018YFD0401003-04)。
反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以...
关键词：面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统被引量：2
《光学精密工程》2017年第11期2810-2816,共7页陈家华 龚学鹏 薛松 卢启鹏 彭忠琦 宋源 王依 
国家自然科学基金资助项目(No.61404139);应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158);吉林省重点科技成果转化项目(No.20150307039GX)
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍...
关键词：同步辐射 光发射电子显微镜(PEEM) X射线显微镜 KB镜 结构设计 
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗被引量：4
《光学精密工程》2017年第11期2835-2844,共10页宋源 卢启鹏 龚学鹏 王依 彭忠琦 
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001);国家自然科学基金资助项目(No.61404139);应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158);吉林省重点科技成果转化项目(No.20150307039GX)
针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。...
关键词：极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 
基于双直角分束器的反射式静态傅里叶光谱仪光学系统被引量：3
《光学学报》2017年第8期177-183,共7页李晚侠 卢启鹏 宋源 于新洋 
国家自然科学基金(61308067;61475155);应用光学国家重点实验室自主基金;产学研协同创新重大专项(201604046019)
基于双直角分束器设计了一种反射式静态傅里叶变换光谱仪光学系统,并搭建了样机。该光谱仪光学系统的分光装置采用双直角分束器,其他光路全部采用反射式结构,有效折叠光路,与透射式静态傅里叶光谱仪相比,系统体积减小一半以上。用汞灯...
关键词：测量 静态傅里叶光谱仪 双直角分束器 光谱分辨率 结构紧凑 
极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究被引量：5
《中国光学》2016年第2期284-297,共14页卢启鹏 宋源 龚学鹏 马磊 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035;No.61404139);应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158)~~
变包含角平面光栅单色器具有分辨率高和光通量高等优点,被广泛应用于各科研领域,并且随着相关领域研究的不断深入,迫切需要提高其光谱分辨率,以满足使用需求。为研究探索极高分辨率变包含角平面光栅单色器,结合上海同步辐射光源光束线,...
关键词：极高分辨 变包含角 软X射线 同步辐射 平面光栅单色器 
前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响被引量：1
《中国光学》2014年第1期105-111,共7页宋源 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.Y2Q03FQK02)
针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM...
关键词：变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差 
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