张小冀

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：超精密切削FEMSPH仿真无网格法更多>>
发文领域：金属学及工艺自动化与计算机技术化学工程更多>>
发文期刊：《大连理工大学学报》《金刚石与磨料磨具工程》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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基于FEM-SPH耦合方法的AISI4340钢超精密切削过程仿真被引量：6
《大连理工大学学报》2013年第4期526-531,共6页郭晓光 魏延军 张小冀 金洙吉 郭东明 
"九七三"国家重点基础研究发展规划资助项目(2011CB706704)
数值模拟是研究金属切削的重要手段,但有限元方法(FEM)由于依赖网格而存在一定的局限性,不适宜处理大变形问题.光滑粒子动力学(SPH)是一种无网格法,可以避免网格畸变,解决切削过程中材料大变形问题.结合两种方法的各自优点,建立了AISI4...
关键词：超精密切削 无网格法 FEM—SPH耦合 仿真 
大尺寸硅片智能化CMP监控系统研究
《金刚石与磨料磨具工程》2012年第5期42-45,51,共5页郭晓光 张小冀 郭东明 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(DUT11SX05)
将智能控制的设计思想和各工艺参数对化学机械抛光(CMP)的影响机理相结合,开发了智能化CMP监控系统,该系统具有学习、推理和记忆的功能,适用于多种CMP设备。系统得出的工艺参数可以直接控制CMP抛光机的各控制单元,并且与以往的凭借经验...
关键词：智能监控 硅片 化学机械抛光(CMP) 生产效率 
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