张怀东

作品数：1被引量：3H指数：1
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显影工艺及显影喷嘴的应用被引量：3
《中国高新科技》2018年第20期21-23,共3页郭聪 张怀东 
集成电路(IntegratedCircuit,IC)的发明与应用是人类科技发展的重要进程之一。随着半导体科技的进步、工艺的提高,对半导体设备的要求也随之提高。作为IC应用大国,我国正以前所未有的力度发展IC产业,为有自己的"中国芯"而大力发展国产...
关键词：光刻工艺 显影工艺 显影喷嘴 喷洒方式 
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