曾晟

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题：PZT铁电薄膜铁电薄膜PZT钙钛矿相相变过程更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》更多>>
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溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响被引量：7
《无机材料学报》1999年第1期107-113,共7页曾晟 丁爱丽 仇萍荪 何夕云 罗维根 
采用射频磁控溅射工艺，在（111）Pt／Ti／SiO_2／Si衬底上用PZT（53／47）陶瓷靶制备铁电薄膜．用快速光热退火炉对原位沉积的薄膜进行RTA处理．薄膜的相结构由XRD确定．通过改变氩气和氧气的比例以及衬底温度，研究了溅射气氛和衬底...
关键词：射频磁控溅射 铁电薄膜 钙钛矿相 PZT 相变 
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